高性能場發射掃描電鏡具有超高分辨率，具有高性能X射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。
高性能場發射掃描電鏡的日常維護與保養：
1、保持儀器操作平臺干凈整潔，不要靠在上面，不要將重物放在冰水器和其他設備上。
2、啟動機器時，必須先打開水冷系統，并檢查冷卻水的溫度。關閉機器至少15分鐘后，可以關閉冷卻水。
3、進樣時，檢查Z軸和T軸的位置。緩慢關閉樣品室，確保樣品室門*關閉，然后單擊EVAC按鈕抽氣。
4、移動樣品。將階段驅動器移動到X和Y軸以移動樣本，并確保其小于最大允許值。
5、將樣品傾斜-10°~+45°，小心不要損壞探針。傾斜角度應根據樣品臺和樣品條件選擇。注意，樣品可以傾斜的最大安全角度必須小于允許值，以防止樣品撞擊物鏡極靴。
6、使用BSE探頭時，不要傾斜樣本臺。
7、只有在關閉加速電壓的情況下才能取出樣品，不進行樣品掃描時應關閉高壓。
8、排氣時必須關閉HT，120秒后必須輕輕打開樣品交換室的門。
9、更換鎢絲時，等待兩分鐘，然后打開電子槍，用專用工具取出鎢絲和鎢絲罩，以免燙傷。
10、電子顯微鏡需要手動調節的部件主要包括光圈、像散和調節工作距離的旋鈕。
11、每周添加兩到三次液氮，間隔不超過四天。
